新款Precis 包含了很多可配置选项，使设备更加通用，耐用以及可靠。   扩展了Z轴范围 – 2.5mm, 5mm or 100mm   透射照明   完整电子绘图 – 完全符合 SEMI S2 和 CE 标准   符合人体工程学的操作员控制台 ，带有隐藏键盘托盘, 可调节高度和角度的控制面板和显示器, SEMI S8 符合 全自动显微镜，所有设置计算机控制 很好分辨率像素摄像头 VIEW Metrology Software (VMS™) 可测组件很广泛, 可选CAD导入 以及完整的几何尺寸和公差导入。 MMWin – 晶圆片 和Mask计量软件 –晶圆片的重要尺寸和迭置重合测量, 滑块 ABS,光掩模和平板显示器. 标准                        可选 X,Y,Z行程(mm):        200 x 200 x 5               ‘/载重:                 12 kg XY精度:                    E1=(0.25+2L/1000)um Z 精度:                     E1=(0.25)um (with use of a 100X lens) 分辨率：                    0.01 微米 视场测量精度和重复性：0.01 μm (100x) 直流伺服马达驱动